近日,2025年度广东省科学技术奖正式公示。优艾智合牵头的“面向半导体制造的高稳定移动操作机器人关键技术与系统”项目,斩获2025 年度广东省科学技术奖技术发明奖一等奖。
在半导体制造中,晶圆薄且脆,转运环节极易受损,过去主要依赖人工搬运。移动操作机器人以高洁净、高稳定、高灵活的特性进入这一场景,减少磕碰风险,稳住良率,也让产线效率提升不再卡在搬运环节。
经历十余年技术攻关,项目让移动操作机器人在真实作业中同时做到了“稳、准、安全”。
#稳
作业物料振动控制达到国际领先水平,柔顺操作和平稳运行从根源减少晶圆被振动损坏。
#准
兼顾大范围导航定位与末端抓取精度,车间复杂环境里,精准完成物料取放。
#安全
实现“手眼脚”一体化安全管控,安全超行业标准,规避车间各类磕碰事故。
项目成果已经在半导体产线上大规模落地。OW系列、ATS系列移动操作机器人进入国内外十余家晶圆厂,融入8/12寸晶圆和28nm芯片生产流程,7×24小时不间断运行,降低晶圆损坏率,带动良率提升和产能扩张。
从原材料、晶圆制造到封装测试等半导体产业链全环节,优艾智合的移动操作机器人批量上岗,让半导体制造效率革命成为产线上看得见的日常。
西安优艾智合机器人科技有限公司是一家以机器人研发与制造为核心的创新型高新技术公司。优艾智合具有完全自主知识产权的移动机器人核心算法,拥有大量业务场景无人化改造经验, 优艾智合基于移动机器人,致力于提供智能制造,智能巡检及维保等覆盖全行业、全方位的产品和解决方案。
公司为合作伙伴提供移动机器人本体及相关集成解决方案。致力于为半导体及电子制造,飞机制造,汽车零配件等制造行业提供工厂自动化及场内物流解决方案。为电力电网、能源冶炼、商业物业及公共交通等行业,提供巡检及自动化维保解决方案。
优艾智合机器人积极践行企业使命—“机器人技术赋能场景变革”,坚持技术创新,场景革新,力争成为机器人行业领军企业。
