晶圆厂是使用自动化材料处理系统（AMHS）的自动化工厂。广泛使用高架式芯片运输车(OHT)系统将8/12" wafer box (open cassette/FOUP)从一组设备运送到另一组。
AMHS的搬送一般分为Interbay和Intrabay，OHS负责Interbay，作为工序区间搬送系统；而OHT+AMR 负责Intrabay，目前不仅应用于工序区内部运输，也应用于工序区间或工厂间运输。
要实现全厂OHT覆盖，AMHS系统的成本会非常高,（简单估算下来，一条8英寸的AMHS大概在10M$,而12英寸的AMHS大概在30M$左右。）在当前中国大陆的FAB厂中，使用OHT的FAB厂屈指可数。这也对厂内IE规划也是个极大的考验。
为此，捷螺系统专攻半导体晶圆搬运机器人，配合FAB厂OHT协作，即空中OHT搭配地面AMR，更加全面实现全厂物料自动搬运， 综合性价比也相对较高。目前，Gyrobot已与多家OHT厂家（Muratec、Mirle等），实现FAB车间对接协作，为半导体工厂自动化生产提升更高效率。
OHT天车负责空中轨道高速传输作业，地面上由AMR来实现高弹性效率作业，实现由STOCKER、OHT、AMR、EQ间 无死角无盲区对接 ，真正实现FAB车间无人化自动生产。
捷螺系统(苏州)有限公司/捷螺系统股份有限公司(台湾)，专注于智能机器人、 物联网与工业4.0系统的研发，以满足智慧工厂/无人工厂内高效率弹性化移载搬运、设备状态监控以及追踪定位的需求。
基于市场需求，我们已成功推出:
智能无轨晶圆搬运机器人、智能无轨手臂机器人、车队派遣管理系统。
RFID 电子货架
实施定位监控系统
工业物联网Industrial IoT application、无线sensor tag、location tag
公司愿景:
成为智慧自主行走机器人(AMR)、工业用IoT、室内定位系统(RTLS)的领导厂商。
2024-05-09 10:07
2024-04-27 09:56
2024-03-27 09:55
2024-03-14 09:58
2024-03-12 10:11
2024-03-02 09:55
2024-02-29 09:55
2023-12-22 08:49
2023-12-21 09:09
2023-10-18 11:52
粤公网安备 44010602004358号