晶圆厂是使用自动化材料处理系统(AMHS)的自动化工厂。广泛使用高架式芯片运输车(OHT)系统将8/12" wafer box (open cassette/FOUP)从一组设备运送到另一组。
AMHS的搬送一般分为Interbay和Intrabay,OHS负责Interbay,作为工序区间搬送系统;而OHT+AMR 负责Intrabay,目前不仅应用于工序区内部运输,也应用于工序区间或工厂间运输。
要实现全厂OHT覆盖,AMHS系统的成本会非常高,(简单估算下来,一条8英寸的AMHS大概在10M$,而12英寸的AMHS大概在30M$左右。)在当前中国大陆的FAB厂中,使用OHT的FAB厂屈指可数。这也对厂内IE规划也是个极大的考验。
为此,捷螺系统专攻半导体晶圆搬运机器人,配合FAB厂OHT协作,即空中OHT搭配地面AMR,更加全面实现全厂物料自动搬运, 综合性价比也相对较高。目前,Gyrobot已与多家OHT厂家(Muratec、Mirle等),实现FAB车间对接协作,为半导体工厂自动化生产提升更高效率。
OHT天车负责空中轨道高速传输作业,地面上由AMR来实现高弹性效率作业,实现由STOCKER、OHT、AMR、EQ间 无死角无盲区对接 ,真正实现FAB车间无人化自动生产。
捷螺系统(苏州)有限公司/捷螺系统股份有限公司(台湾),专注于智能机器人、 物联网与工业4.0系统的研发,以满足智慧工厂/无人工厂内高效率弹性化移载搬运、设备状态监控以及追踪定位的需求。
基于市场需求,我们已成功推出:
智能无轨晶圆搬运机器人、智能无轨手臂机器人、车队派遣管理系统。
RFID 电子货架
实施定位监控系统
工业物联网Industrial IoT application、无线sensor tag、location tag
公司愿景:
成为智慧自主行走机器人(AMR)、工业用IoT、室内定位系统(RTLS)的领导厂商。
2025-04-23 10:30
2025-04-23 10:28
2025-04-22 13:11
2025-04-22 13:10
2025-04-21 11:22
2025-04-21 11:21
2025-04-21 11:20
2025-04-21 11:18
2025-04-17 11:06
2025-04-17 11:05