机器人和设计的SCARA机器人使用单/双臂和1或2个刀片快速精确地传输300mm晶圆（12英寸）。它占地面积小，可以在很宽的运动范围内有效利用空间，因此无需横向轴即可访问 2 个端口（修改臂时可以使用 3 个端口）。它可以根据要求定制（长 SCARA 是可定制的）。
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