弥费实业协作式机器人AMR

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半导体晶圆厂晶圆载具(FOUP,FOSB,POD,RETICLE POD, FRAME CASSETTE)地面自动传送设备

协作式机器人用于半导体洁净室内区域间各生产设备站点与存储设备间晶圆载具的传送，适合使用在人工搬运且重复性高的区域。使用协作式机器人可重新布局工作环境，实现区域自动化——物料自动搬运、自动上下料等功能，减少操作工数量，降低人力成本，减少环境污染，提高产品良率。