产品简介：
显微激光测振仪通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量，可以准确测量MEMS等微小结构元器件的振动和形貌，激光光斑达微米量级；
并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态（频率、速度、加速度、位移）以及可通过白光干涉测量物体形貌特征等多维信息。
技术参数：
| 显微激光测振仪 LV-S01-M | |
| 工作温度 | 3℃~45℃ |
| 工作湿度 | <90% |
| 电 源 | 220~240Vrms，50~60Hz |
| 激光波长 | He-Ne Laser 632.8nm |
| 激光安全等级 | Class II |
| 速度量程 | 10m/s |
| 输出电压 | ±10V |
| 频率范围 | DC~3MHz |
| 滤波设置 | 高通，低通滤波设置 |
| 最大线性误差 | 1% |
| 机 架 | 反射用机架，低手位粗微同轴调焦机构。 粗调行程25mm，微调精度0.001mm。 带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。 内置100-240V宽电压系统。 |
| 光学参数 | 检测器尺寸：1/2；测量距离：9mm（使用10X物镜时） |
| 观测装置 | CMOS数码相机：320万像素（USB2.0） |
| 速度分辨率 | 高于0.01μm∙s-1/Hz |
| 位移分辨率 | 高于15pm |
| 速度解码器 | VD-16数字速度解码器 |
| 位移解码器 | DD-16数字位移解码器、DD-21数字位移解码器 |
功能特点：
➢ 非接触测量，无负载；
➢ 激光光斑极小，微米级；
➢ 优越的带宽和动态范围；
➢ 高空间分辨率；
➢ 工作距离可选；
➢ 高灵活性、易安装、易操作；
➢ 振动传感器结构紧凑、性能稳定、抗冲击强、测量精度高；
➢ 配有同轴照明装置和相机，可以方便迅速地确定测量位置。
应用领域：
➢ 微机电系统（MEMS）动态测试；
➢ 医学/动物学研究，如昆虫等生物活体的振动特性测量；
➢ 计算机外设的动态测试：硬盘驱动器/光盘机/磁带机等；
➢ 超声振动测量；
➢ 压电陶瓷振动测量；
➢ 弦线/丝线振动特性测量；
➢ 微型陀螺仪振动测量。
粤公网安备 44010602004358号